JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范
标准号 | JJF 1932-2021 | 标准名称 | 椭偏仪校准规范 |
发布日期 | 2021-12-08 | 实施日期 | 2022-06-08 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
起草人 | 刘文德(中国计量科学研究院)、陈赤(中国计量科学研究院)、王雷(中国兵器工业第二○五研究所)、孙权社(中国电子科技集团公司第四十一研究所)、叶军安(上海市计量测试技术研究院)、李奕(陕西省计量科学研究院) | ||
起草单位 | 中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院 | ||
适用范围 | 本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。 |
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