JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

标准号 JJF 1932-2021 标准名称 椭偏仪校准规范
发布日期 2021-12-08 实施日期 2022-06-08
废止日期 代替以下标准
起草人 刘文德(中国计量科学研究院)、陈赤(中国计量科学研究院)、王雷(中国兵器工业第二○五研究所)、孙权社(中国电子科技集团公司第四十一研究所)、叶军安(上海市计量测试技术研究院)、李奕(陕西省计量科学研究院)
起草单位 中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院
适用范围

本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。

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