JJF 1100-2003 平面等厚干涉仪校准规范

标准号 JJF 1100-2003 标准名称 平面等厚干涉仪校准规范
发布日期 2003-05-12 实施日期 2003-11-12
废止日期 代替以下标准 JJG 336-1983
起草人 冉庆(中国测试技术研究院)、陈永康(中国测试技术研究院)、李建民(中国测试技术研究院)、曹箭(中国测试技术研究院)
起草单位 中国测试技术研究院
适用范围

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。

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