JJG 48-2004 硅单晶电阻率标准样片检定规程

本规程适用于硅单晶阻率标准样片的首次检定、后续检定和使用中的检验。

硅单晶电阻率标准样片（以下简称标准样片）是用高纯多晶硅，经过单晶制备，再经中子嬗变掺杂等多种工艺制造的，具有一定几何尺寸的实物标准。由不确定度已知的标准装置，对该实物标准的电阻率及其它指标给予标定，使用时以标准样片为准，对相关参数进行量值传递。