JJG 989-2004 光栅式测微仪检定规程

标准号 JJG 989-2004 标准名称 光栅式测微仪检定规程
发布日期 2004-09-21 实施日期 2004-12-21
废止日期 2018-05-20 代替以下标准
起草人 耿丽红(中国科学院光电技术研究所)、匡龙(中国科学院光电技术研究所)、曹学东(中国科学院光电技术研究所)、范天泉(中国科学院光电技术研究所)、李建民(中国测试技术研究院)
起草单位 中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院
适用范围

本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm,测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。

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