GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
| 标准号 | GB/T 30656-2023 | 标准名称 | 碳化硅单晶抛光片 |
| 发布日期 | 2023-03-17 | 实施日期 | 2023-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | GB/T 30656-2014 | |
| 提出单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 国家标准化管理委员会 | 主管部门 | 国家标准化管理委员会 |
| 中国标准分类 | H83 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | 陈小龙、彭同华、刘春俊、李素青、郑红军、杨建、佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜 | ||
| 起草单位 | 北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。 |
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