SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范
| 标准号 | SJ/T 11451-2022 | 标准名称 | 扩散炉能源消耗规范 |
| 发布日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ/T 11451-2013 | |
| 提出单位 | 中国电子技术标准化研究院 | 归口单位 | 中国电子技术标准化研究院 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | L97 | ||
| 国际标准分类 | 27.010 | ||
| 起草人 | 李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳 | ||
| 起草单位 | 北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了扩散炉能源消耗等级指标、可比单耗计算方法和评价规则。 本文件适用于工作温度在400℃ ~ 1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。 |
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