GB/T 17359-2023 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析

本文件描述了用安装在扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用质量分数（百分数）表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本文件也包含这方面的内容。本文件描述了多种能谱法定量分析方法。

本文件适用于利用参考物质或“无标样”程序对质量分数高于1%的、原子序数Z>10的元素进行定量分析。

本文件也给出了对原子序数小于11的轻元素分析方法的信息。