标准编号:GB/T 43798-2024
中文名称:平板显示阵列用正性光阻材料测试方法
英文名称:Test method of positive photoresist for manufacturing of flat panel display array
发布日期:2024-03-15
实施日期:2024-10-01
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:国家标准化管理委员会
起草人
杨澜、程龙、曹可慰、李琳、李璐、戈烨铭、袁晓雷、吴怡然、赵俊莎、吴京玮、岳爽、何珂、曾成财
起草单位
京东方科技集团股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、江阴润玛电子材料股份有限公司、上海彤程电子材料有限公司、阜阳欣奕华材料科技有限公司、福建泓光半导体材料有限公司
标准范围
本文件描述了平板显示阵列用正性光阻材料的测试方法。
本文件适用于液品显示器件、有机发光显示器件等显示阵列制造用正性光阻材料的性能测试。