T/QGCML 3970-2024 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统
| 标准号 | T/QGCML 3970-2024 | 标准名称 | 半导体车间金属粉尘智能检测分析系统 |
| 发布日期 | 2024-03-28 | 实施日期 | 2024-04-11 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 归口单位 | ||
| 执行单位 | 全国城市工业品贸易中心联合会 | 主管部门 | 全国城市工业品贸易中心联合会 |
| 中国标准分类 | L70 | ||
| 国际标准分类 | 35.240.01 | ||
| 起草人 | 张辰铭、陈肖依、张红、李玉山、何洋 | ||
| 起草单位 | 凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。 本文件适用于半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的设计及应用。 |
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