SJ/T 11860-2022 电镀溶液试验方法
| 标准号 | SJ/T 11860-2022 | 标准名称 | 电镀溶液试验方法 |
| 发布日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | L90 | ||
| 国际标准分类 | 31.030 | ||
| 起草人 | 曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣 | ||
| 起草单位 | 中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了电镀溶液分析方法的一般要求，各种金属电镀溶液成分分析方法。 本文件适用于电镀溶液的检验。 |
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