标准编号：SJ/T 11860-2022
中文名称：电镀溶液试验方法
英文名称：Test methods for plating solution composition
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
曹可慰、吴怡然、李小娟、管琪、付雪涛、王振荣
起草单位
中国电子技术标准化研究所、上海新阳半导体材料股份有限公司
标准范围
本文件规定了电镀溶液分析方法的一般要求，各种金属电镀溶液成分分析方法。
本文件适用于电镀溶液的检验。
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