SJ/T 11865-2022 功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底
标准号 | SJ/T 11865-2022 | 标准名称 | 功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底 |
发布日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-01-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | 中国电子技术标准化研究 | 归口单位 | 中国电子技术标准化研究 |
执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
中国标准分类 | H83 | ||
国际标准分类 | 29.045 | ||
起草人 | 高宇晗、宋生、张红岩、张秋、高超、梁庆瑞、窦文涛、杨世兴、房玉龙、李赟、冯淦、杨霏、李诚瞻、王英民、韩景瑞、李国平 | ||
起草单位 | 山东天岳先进科技股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第五十五研究所、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、全球能源互联网研究院有限公司、株洲中车时代电气股份有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、东莞市天域半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司 | ||
适用范围 | 本文件规定了功率器件用φ150mm n型碳化硅(sic)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。 本文件适用于经抛光后制备的φ150mm n型sic衬底,晶型为4H。 |
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