SJ/T 10553-2021 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法

标准号 SJ/T 10553-2021 标准名称 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法
发布日期 2021-03-05 实施日期 2021-06-01
废止日期 代替以下标准 SJ/T 10553-1994
提出单位 全国半导体设备与材料标准化技术委员会 归口单位 全国半导体设备与材料标准化技术委员会
执行单位 工业和信息化部 主管部门 工业和信息化部
中国标准分类 L90
国际标准分类 31.030
起草人 张旭、张理、裴会川
起草单位 中国电子技术标准化研究院
适用范围

本标准规定了电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法。

本标准适用于电子陶瓷用二氧化锆中铁、硅、磷、钙、镁和钛的氧化物杂质测定的中型摄谱仪方法。

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