标准编号：SJ/T 10553-2021
代替以下标准：SJ/T 10553-1994
中文名称：电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法
英文名称：Method of emission spectrochernical analysis of impurities in ZrO2 for use in electron ceramics
发布日期：2021-03-05
实施日期：2021-06-01
提出单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
张旭、张理、裴会川
起草单位
中国电子技术标准化研究院
标准范围
本标准规定了电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法。
本标准适用于电子陶瓷用二氧化锆中铁、硅、磷、钙、镁和钛的氧化物杂质测定的中型摄谱仪方法。
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