SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范
| 标准号 | SJ/T 11183-2022 | 标准名称 | 旋转式涂覆设备通用规范 |
| 发布日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ/T 11183—1998 | |
| 提出单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员 | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | L95 | ||
| 国际标准分类 | 31.550 | ||
| 起草人 | 宗润福、徐春旭、刘正伟、冯亚彬 | ||
| 起草单位 | 沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备（以下简称设备）。 |
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