SJ/T 10552-2021 电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法
| 标准号 | SJ/T 10552-2021 | 标准名称 | 电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法 |
| 发布日期 | 2021-03-05 | 实施日期 | 2021-06-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | SJ/T 10552-1994 | |
| 提出单位 | 全国半导体设备与材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备与材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | L90 | ||
| 国际标准分类 | 31.030 | ||
| 起草人 | 张旭、张理、裴会川 | ||
| 起草单位 | 中国电子技术标准化研究院 | ||
| 适用范围 | 标准规定了电子陶瓷用二氧化钛中杂质的发射光谱分析方法。 本标准适用于电子陶瓷用二氧化钛中铁、硅、磷、钙、镁、铝和锑的氧化物杂质的测定。 |
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