SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备
| 标准号 | SJ/T 11829.2-2022 | 标准名称 | 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式PECVD设备 |
| 发布日期 | 2022-10-20 | 实施日期 | 2023-01-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国半导体设备利材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备利材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | L95 | ||
| 国际标准分类 | 31.550 | ||
| 起草人 | 许烁烁、范迎新、吴得铁、、龙会跃、彭宜昌、陈特超、蔡先武、宋秀云、童芳、冯亚彬 | ||
| 起草单位 | 湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“板式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于晶晶体硅光伏电池用板式PECVD设备，产品主要用于多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅(ue-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(AI3O3)、氮化硅薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池，柔性光伏电池用PECVD也可参照使用。 |
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