YS/T 38.3-2023 高纯镓化学分析方法 第3部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
| 标准号 | YS/T 38.3-2023 | 标准名称 | 高纯镓化学分析方法 第3部分：痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 |
| 发布日期 | 2023-04-21 | 实施日期 | 2023-11-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 | 归口单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | H17 | ||
| 国际标准分类 | 77.040 | ||
| 起草人 | 刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、汪洋、李俊需、李铭、马媛、程平 | ||
| 起草单位 | 国合通用测试评价认证股份公司、国标（北京）检验认证有限公司、广东先导稀材股份有限公司、南京金美镓业有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司、合肥中晶新材料有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了高纯镓中痕量杂质元素含量的测定方法。 本文件适用于高纯镓中痕量杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。 |
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