YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
| 标准号 | YS/T 1601-2023 | 标准名称 | 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 发布日期 | 2023-04-21 | 实施日期 | 2023-11-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 | 归口单位 | 全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 |
| 执行单位 | 工业和信息化部 | 主管部门 | 工业和信息化部 |
| 中国标准分类 | H17 | ||
| 国际标准分类 | 77.040 | ||
| 起草人 | 严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、王彬、甘居富、李寿琴、于生海 | ||
| 起草单位 | 洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。 本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g~50ng/g。 |
||
| 首页预览图 | |||