T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范

标准号 T/QGCML 4572-2024 标准名称 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
发布日期 2024-08-12 实施日期 2024-08-27
废止日期 代替以下标准
提出单位 归口单位
执行单位 全国城市工业品贸易中心联合会 主管部门 全国城市工业品贸易中心联合会
中国标准分类 H80
国际标准分类 31.020
起草人 罗中平、雷超、赵鹏志
起草单位 常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司
适用范围

本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。

本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪(以下简称“卡爪”)的生产制造。

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