T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
| 标准号 | T/QGCML 4572-2024 | 标准名称 | 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范 |
| 发布日期 | 2024-08-12 | 实施日期 | 2024-08-27 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 归口单位 | ||
| 执行单位 | 全国城市工业品贸易中心联合会 | 主管部门 | 全国城市工业品贸易中心联合会 |
| 中国标准分类 | H80 | ||
| 国际标准分类 | 31.020 | ||
| 起草人 | 罗中平、雷超、赵鹏志 | ||
| 起草单位 | 常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州市兆丰精密机械有限公司、苏州新意精密机械有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。 本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。 |
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