T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
| 标准号 | T/ZSA 231-2024 | 标准名称 | 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 |
| 发布日期 | 2024-05-15 | 实施日期 | 2024-05-16 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 归口单位 | ||
| 执行单位 | 中关村标准化协会 | 主管部门 | 中关村标准化协会 |
| 中国标准分类 | H21 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | 李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋 | ||
| 起草单位 | 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。 本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 |
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