HG/T 4509-2023 工业高纯氢氟酸

标准号 HG/T 4509-2023 标准名称 工业高纯氢氟酸
发布日期 2023-12-20 实施日期 2024-07-01
废止日期 代替以下标准 HG/T 4509-2013
提出单位 中国标准出版社 归口单位 中国石油和化学工业联合会
执行单位 工业和信息化部 主管部门 工业和信息化部
中国标准分类 G11
国际标准分类 71.060.30
起草人 陈刚、杨华春、王平、吴晓、陈维、彭飞、贺辉龙、刘春花、谷正彦、魏学、刘斌华、孙宏华、钟宏波、郭凤鑫、赵晓亚、叶文豪、郑恒、徐绍霞、吴兴前、林顺泰、程文海、刘世鹏、王莉莉、赵美敬、周君、李霞
起草单位 中巨芯科技股份有限公司、多氟多新材料股份有限公司、索尔维蓝天(衢州)化学品有限公司、贵州川恒化工股份有限公司、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司、湖北兴力电子材料有限公司、浙江凯圣氟化学有限公司、福建永晶科技股份有限公司、云南氟磷电子科技有限公司、宁夏盈氟金和科技有限公司、瑞士万通中国有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、贵州省产品质量检验检测院、中海油天津化工研究设计院有限公司
适用范围

本文件规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。

本文件适用于工业高纯氢氟酸。

注:该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

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