GB/T 44334-2024 埋层硅外延片

标准号 GB/T 44334-2024 标准名称 埋层硅外延片
发布日期 2024-08-23 实施日期 2025-03-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会 归口单位 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位 国家标准委 主管部门 国家标准委
中国标准分类 H82
国际标准分类 29.045
起草人 仇光寅、王银海、贺东江、马林宝、李春阳、徐西昌、刘小青、米姣、谢进、骆红、顾广安、李慎重、徐新华、袁夫通、周益初、张强
起草单位 南京国盛电子有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、赛晶亚太半导体科技(浙江)有限公司、西安龙威半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、盖泽华矽半导体科技(上海)有限公司
适用范围

本文件规定了埋层硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于具有埋层结构的硅外延片的生产制造、测试分析和质量评价,产品主要用于制作集成电路芯片和半导体分立器件。

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