JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范
| 标准号 | JJF 2160-2024 | 标准名称 | 激光共聚焦显微镜校准规范 |
| 发布日期 | 2024-10-19 | 实施日期 | 2025-04-19 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 起草人 | 施玉书(中国计量科学研究院)、刘俭(哈尔滨工业大学)、张树(中国计量科学研究院)、王珉(南京市计量监督检测院)、刘辰光(哈尔滨工业大学)、皮磊(中国计量科学研究院)、郭鑫(南京市计量监督检测院) | ||
| 起草单位 | 中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学、南京市计量监督检测院 | ||
| 适用范围 | 激光共聚焦显微镜(以下简称共聚焦显微镜)是一种利用共轭点照明、点探测原理，通过激光逐点照明扫描和空间针孔调制技术获取光学层析图像，从而得到被测物体二维图像或三维表面形貌参数的仪器。共聚焦显微镜具有多种照明约束和探测形式，被广泛应用于材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学等领域。 本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准，其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参照本规范。 |
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