GB/T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法
标准号 | GB/T 44849-2024 | 标准名称 | 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法 |
发布日期 | 2024-10-26 | 实施日期 | 2025-05-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | 全国微机电技术标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国微机电技术标准化技术委员会 |
执行单位 | 国家标准委 | 主管部门 | 国家标准委 |
中国标准分类 | L59 | ||
国际标准分类 | 31.080.99 | ||
起草人 | 曹诗亮、李根梓、孙立宁、许磊、王春举、钱峰、张红旗、张启心、王文婧、马卓标、胡永刚、王雄伟、王学文、张森、武斌、汤一、陈林 | ||
起草单位 | 合肥美的电冰箱有限公司、无锡华润上华科技有限公司、微纳感知(合肥)技术有限公司、西北工业大学、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、宁波科联电子有限公司、美的集团股份有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、北京晨晶电子有限公司 | ||
适用范围 | 本文件描述了测量厚度范围为0.5μm~300μm金属膜材料成形极限的方法。 本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS的金属膜材料。 |
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