标准编号：DB13/T 6033-2024
中文名称：半导体器件低浓度氢效应试验方法
英文名称：Test method of low concentration hydrogen effect in semiconductor devices
发布日期：2024-10-28
实施日期：2024-11-28
提出单位：中共河北省委军民融合发展委员会办公室
归口单位：中共河北省委军民融合标准化技术委员会
批准发布部门：河北省市场监督管理局
起草人
高东阳、席善斌、彭浩、武利会、尹丽晶、宋玉玺、裴选、高若源、王伟、任红霞
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、河北北芯半导体科技有限公司、河北科技大学
标准范围
本文件描述了半导体器件低浓度氢效应试验的试验方法。
本文件适用于氢气氛浓度不超过2%的半导体器件氢效应试验。其他氢气氛浓度可参照使用，当有相应的国家标准或行业标准时，以国家标准和行业标准规定为准。
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