标准编号：GB/T 44919-2024
中文名称：微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法
英文名称：Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
发布日期：2024-11-28
实施日期：2024-11-28
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
批准发布部门：国家标准委
起草人
周维虎、李根梓、霍树春、高成臣、杨剑宏、张平平、马龙全、黄庆安、陈晓梅、卢永红、高峰、黄晟、孙宏霖、刘胜、焦斌斌、陈立国、陈志文、陈思、聂萌、谢红梅、张红旗、刘景全
起草单位
中国科学院微电子研究所、苏州容启传感器科技有限公司、北京大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、中关村光电产业协会、上海交通大学、武汉高德红外股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、武汉大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州慧闻纳米科技有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
标准范围
本文件描述了窗口薄膜的鼓胀测试方法。试样由微米／纳米结构薄膜材料制备，包括金属、陶瓷和聚合物等薄膜，用于微机电系统（MEMS)、微机械等领域。薄膜厚度范围为0.1μm~10μm。正方形和长方形窗口宽度范围0.5mm~4mm，圆形窗口直径范围0.5mm~4mm。
本文件适用于常温环境条件下，对窗口薄膜试样施加均匀压力进行弹性模量和残余应力测试。
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