标准编号：T/WHQASA 12-2024
中文名称：10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
英文名称：lower heating susceptor products of 10.5G chemical vapor deposition equipment
发布日期：2024-12-30
实施日期：2024-12-30
团体名称：芜湖市质量与标准化协会
起草人
司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽
起草单位
芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司
标准范围
本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。
本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。
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