SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法
| 标准号 | SJ/T 11488-2015 | 标准名称 | 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法 |
| 发布日期 | 2015-04-30 | 实施日期 | 2015-10-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | None | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
| 中国标准分类 | H83 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | <p>何秀坤、董彦辉、刘兵 等</p> | ||
| 起草单位 | <p>信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等</p> | ||
| 适用范围 | 本标准规定了半绝缘砷化镓单晶电阻率、霍尔系数和霍尔迁移率的测量方法。 本标准适用于电阻率在10^4Ω·cm～10^9Ω·cm范围内的半绝缘砷化单晶材料电学参数的测量。 |
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