XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

标准号 XB/T 515-2020 标准名称 钪铝合金靶材
发布日期 2020-12-09 实施日期 2021-04-01
废止日期 代替以下标准
提出单位 None 归口单位
批准发布部门 工业和信息化部
中国标准分类 None
国际标准分类 None
起草人
起草单位
适用范围

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

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