XB/T 515-2020 钪铝合金靶材
标准号 | XB/T 515-2020 | 标准名称 | 钪铝合金靶材 |
发布日期 | 2020-12-09 | 实施日期 | 2021-04-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | None | ||
国际标准分类 | None | ||
起草人 | |||
起草单位 | |||
适用范围 | 本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。 |
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首页预览图 |
标准号 | XB/T 515-2020 | 标准名称 | 钪铝合金靶材 |
发布日期 | 2020-12-09 | 实施日期 | 2021-04-01 |
废止日期 | 代替以下标准 | ||
提出单位 | None | 归口单位 | |
批准发布部门 | 工业和信息化部 | ||
中国标准分类 | None | ||
国际标准分类 | None | ||
起草人 | |||
起草单位 | |||
适用范围 | 本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。 |
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