T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
| 标准号 | T/ZJCX 0043-2024 | 标准名称 | 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟 |
| 发布日期 | 2024-07-23 | 实施日期 | 2024-07-24 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 归口单位 | ||
| 执行单位 | 浙江省企业技术创新协会 | 主管部门 | 浙江省企业技术创新协会 |
| 中国标准分类 | Q51 | ||
| 国际标准分类 | 29.045 | ||
| 起草人 | 周志强、陆斌、王军、李祥、鲍宪钧、张力、何亮、蔡帅、李志恒、马二克、胡平安、林龙玉、魏延召、赵世梁、姜昌星、翟民、赵俊通、樊少璞、任帅许、翟茜、宋晓珂、张阳、卢彬、殷静 | ||
| 起草单位 | 浙江华熔科技有限公司、合肥大恒智慧能源科技有限公司、赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司、润马光能科技（金华）有限公司、平顶山东方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江华照半导体材料有限公司、山西博翔汇良新材料有限公司、平顶山市博翔碳素有限公司、苏州兆恩精密仪器有限公司、宜兴市希羽陶瓷有限公司、浙江亿值旺新材料科技有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。 |
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