GB/T 44558-2024 III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法
| 标准号 | GB/T 44558-2024 | 标准名称 | III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法 |
| 发布日期 | 2024-09-29 | 实施日期 | 2025-04-01 |
| 废止日期 | 代替以下标准 | ||
| 提出单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 | 归口单位 | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 执行单位 | 国家标准委 | 主管部门 | 国家标准委 |
| 中国标准分类 | H21 | ||
| 国际标准分类 | 77.040 | ||
| 起草人 | 曾雄辉、董晓鸣、王建峰、徐科、郭延军、陈家凡、敖松泉、唐明华、苏旭军、牛牧童、王晓丹、徐军、王新强、颜建锋、闫宝华、李艳明 | ||
| 起草单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、江苏第三代半导体研究院有限公司、北京大学、北京大学东莞光电研究院、ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司、山东浪潮华光光电子股份有限公司、苏州纳维科技有限公司、苏州科技大学、国家纳米科学中心、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州大学、北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司 | ||
| 适用范围 | 本文件描述了用透射电子显微镜测试Ⅲ族氮化物半导体材料中位错成像的方法。 本文件适用于六方晶系Ⅲ族氮化物半导体的薄膜或体单晶中位错成像的测试。 |
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