国家标准

本标准规定了钛及钛合金饼、环和其他锻件（坯）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于热锻和热轧的钛及钛合金饼、环和其他锻件（坯）。 本标准适用于一般工

本标准规定了用X射线荧光光谱法进行元素定量分析的一般事项，包括所涉及的常用术语、基本原理、仪器、样品处理、定量分析等，供以X射线管作激发源的波长色散X射线荧光光谱仪使用。 本标准适用于制（修）

本标准规定了利用晶片中心作为极坐标（r-θ-z）或直角坐标（X-Y-Z）的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 对于非构图晶片，可直接使用本晶片坐标系统或与矩形阵列或极坐标重叠阵列

本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。网格规定包含1000个面积近似相等的网格单元，每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1％。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比（

本标准规定了钛合金中铌含量的测定方法。 本标准适用于钛合金中铌含量的测定。测定范围：0.20％～3.00％。

本标准规定了钛及钛合金中杂质元素锰，铬，镍，铝，钼，锡，钒，钇，铜，锆含量的测定方法。 本标准适用于钛及钛合金中杂质元素锰，铬，镍，铝，钼，锡，钒，钇，铜，锆含量的同时测定。测定范围列于表1。

本标准规定了钛及不含钼的钛合金中硼量的测定方法。 本标准适用于钛及不含钼的钛合金中硼量的测定。测定范围：0.002%～0.10%。

本标准规定了钛合金中镍含量的测定方法。 本标准适用于钛合金中镍含量的测定。测定范围：0.20%～2.00%。

本标准规定了海绵钛、钛及钛合金中氮含量的测定方法。 本标准适用于海绵钛、钛及钛合金中氮含量的测定。测定范围：0.008%～0.10%。

本标准规定了钛合金中钯含量的测定方法。 本标准适用于钦合金中钯含量的测定。测定范围：0.10％～0.50％。

本标准规定了钛合金中锡含量的测定方法。 本标准适用于钛合金中锡含量的测定。测定范围：1.00％～5.00％。

本标准规定了海绵钛中镁量的测定方法。 本标准适用于海绵钛中镁量的测定。测定范围：0.010％～0.12％。